杜邦高性能弹性体推出KALREZ 8900部件

在2008欧洲半导体设备与材料产业展览会上,杜邦高性能弹性体公司(DPE)重点推出专为半导体热处理过程开发的较新Kalrez 8900全氟弹性体部件。Kalrez 8900部件实现了在更高温度半导体制造过程中更长的密封寿命,减少了昂贵的设备停工时间,降低了设备拥有成本。

DPE还公布了Kalrez 9100部件较近在沉积、蚀刻、灰化/剥离等制程上的成功商业化,并推出了可提高光伏生产密封可靠性的Kalrez产品。

新型Kalrez 8900部件

在半导体热处理工艺:如氧化、扩散炉、CVD、ALD和LPCVD等的静态和动态的密封应用中,Kalrez 8900部件使设备运转时间更长,表现优于传统工业设备维护标准。其综合性能可有效地延长设备密封寿命、提高产品质量和产能。

Kalrez 8900部件即使在较高325摄氏度的环境下持续运作也表现出优异的热稳定性,极少漏气,抗温度循环影响表现也很出色,因而该产品已在各种严苛的半导体加工应用中成功通过测试,这些测试通常都在300摄氏度以上的高温环境下进行。推荐的应用领域包括石英管密封、高压密封、密封筒和中央环密封。

此次为严苛热环境推出的Kalrez 8900部件使杜邦高性能弹性体的全氟弹性体产品系列更为完善,该系列产品包括Kalrez 9100、Kalrez Sahara 8085、Kalrez 8002和Kalrez 6375UP等,已在晶片加工中有出色表现的产品。

Kalrez 9100

DPE Kalrez 9100全氟弹性体部件是较新的半透明琥珀色产品,专门针对在HDPCVD、PECVD、蚀刻、灰化/剥离制程以及非晶/微晶硅电池沉积工艺中的低腐蚀和超低颗粒要求而开发。Kalrez? 9100部件在以上环境中表现出超长的寿命,减少昂贵的设备停工损耗并降低设备维护成本。

位于美国得克萨斯州奥斯汀的全球领先的闪存供应商Spansion公司,较近通过在使用腐蚀性的SiH4, O2,He加工环境和NF3及O2等离子体的两步清洗化学品的Fab 25工厂中改用Kalrez? 9100产品,成功的改善了原先的设备检修周期,使产量提高超过20%,设备维修成本也显著降低。

类似的关于Kalrez 9100部件的应用案例还包括:
——IMEC,硅加工及设备技术部
——奇梦达,Kalrez 9100现在已被选择为其11个不同的DTE chamber密封套件提供密封件,并且正考虑在其他四个部位的应用。

Kalrez部件应用于光电制造

不论在晶片型还是薄膜型光伏生产过程中,Kalrez部件均具有广泛的化学兼容性和优良的热稳定性。Kalrez部件可帮助使用等离子体、高温和腐蚀性学品的重要光伏晶片加工设备提高密封可靠性。光伏制造商们为了延长正常运行时间、提高产量,开始使用更有效同时更具腐蚀性的化学品和更高的温度,使得制造工艺面临更多的压力。由于密封材料的不相容而导致的计划外维护,会干扰生产计划、造成停工。由于需要更少的预防性设备维护(PM),Kalrez全氟弹性体部件可显著减少停机时间,提高生产力,降低生产环境中的设备维修成本。

Kalrez密封件系列的四个产品组可用于光伏生产工艺,同时也可用于多晶硅原料生产和减排系统:
——Kalrez PV8030:用于表面结构处理、聚硅酸盐去除和“湿”洗涤/减排应用。
——Kalrez PV8050:用于边缘隔离、电弧喷涂、CIS/CIGS和碲化镉电池膜以及TCO沉积工艺。
——Kalrez PV8070:用于掺杂,镀金属,和CIS/CIGS电池膜层沉积工艺。
——Kalrez 9100:用于非晶/微晶硅电池膜沉积工艺。

集成生产

DPE集成了从聚合物开始的生产过程,以增强质量控制和产品研发。Kalrez全氟弹性体部件是在获得ISO 9000认证的设施中生产的,可生产从传统密封形状和组合门封到客户定制件,范围广泛的成品部件。产品在符合Class 100标准的工作站里经过特别清洁并使用双层包装,大大减少了被污染的可能性。为了确保可追溯性,每件产品都在有条形码的袋子中独立包装。可供产品形状包括O型圈、密封垫片和客户定制密封件。

 

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